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真空泵,真空泵原理,真空泵型号

2019/3/17 15:31:52      点击:
选用真空泵时,需要注意下列事项:
  1、真空泵的工作压强应当满足真空设备的极限真空及工作压强恳求。如:真空镀膜恳求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
  2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有必定的工作压强领域,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强领域内,泵的抽速随压强而变更,其牢固的工作压强领域为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应当选在这个领域之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
  3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
  4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气恳求,需要几种泵组合起来,互相补充才干满足抽气恳求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有必定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来利用。
  5、真空设备对油污染的恳求。若设备严格恳求无油时,应当选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果恳求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到干净真空恳求。
  6、懂得被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无堕落性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及堕落性气体,应当考虑在泵的进气口管路上安装援助设备,如冷凝器、除尘器等。
  7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不容许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
  8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不容许,应选择无振动的泵或者采用防振动措施。
  9、真空泵的价格、运转及维修费用。

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